Máy bơm chân không hoạt động ở tốc độ lên tới hàng chục nghìn vòng quay mỗi phút thường được gọi là máy bơm turbo phân tử; thành phần cốt lõi của chúng là một cụm rôto quay hàng chục nghìn lần mỗi phút. Thiết kế này làm cho các phân tử khí hoạt động giống như bị một cây vợt tennis quay nhanh đánh vào, đẩy chúng liên tục về phía đầu ra của máy bơm. Máy bơm tua-bin phân tử hiện đại có thể đạt tốc độ quay lên tới 90.000 vòng/phút-tương đương với việc hoàn thành 1.500 vòng quay mỗi giây.
Ưu điểm độc đáo của máy bơm chân không-cao
Mức chân không cực cao: Mức chân không tối đa có thể đạt được có thể đạt tới 10⁻⁸ Pascal-cao hơn tám bậc so với mức mà máy bơm cơ học tiêu chuẩn đạt được.
Sạch và không nhiễm bẩn-Không cần dầu bôi trơn, do đó ngăn chặn hơi dầu chảy ngược và ô nhiễm môi trường chân không sau đó.
Bơm nhanh: Đạt mức chân không hoạt động chỉ trong vòng ba phút sau khi khởi động.
Sức mạnh tổng hợp nhiều giai đoạn: Đạt được khả năng bơm hiệu quả cao thông qua hoạt động kết hợp giữa kéo phân tử và nén cơ học.
Kịch bản ứng dụng điển hình
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, những thiết bị này được sử dụng cho quy trình phủ tấm bán dẫn; trong nghiên cứu khoa học, chúng hỗ trợ máy gia tốc hạt duy trì môi trường chân không cực cao. Máy quét CT y tế cũng dựa vào chúng để duy trì tính toàn vẹn chân không của ống tia X-, trong khi máy dò hồng ngoại trong các thiết bị quan sát thiên văn phụ thuộc vào chúng để loại bỏ nhiễu nhiệt do các phân tử không khí gây ra.
