Bơm chân không khô chủ yếu có các dạng sau:
Loại thùy đôi{0}}
Thiết kế của loại thùy đôi rất giống với thiết kế của máy bơm Roots, hiện là loại phổ biến nhất và được sử dụng rộng rãi. Trên thực tế, một số khái niệm sớm nhất về thiết kế máy bơm khô liên quan đến việc xếp nhiều máy bơm Roots lại với nhau. Thiết kế nhiều{3}}giai đoạn này dẫn đến đường dẫn dòng khí khá phức tạp và mỗi giai đoạn yêu cầu một lượng khí nitơ đáng kể để đóng vai trò vừa là chất pha loãng vừa là lớp chắn. Hơn nữa, để đạt được độ chân không cao, cần có dung sai cực kỳ nghiêm ngặt về khoảng hở giữa các giai đoạn. Tất nhiên, vì thiết kế này làm tăng tỷ lệ nén bên trong nên mức tiêu thụ điện năng của nó tương đối thấp.
Loại thùy ba-
Nguyên lý hoạt động của loại-thùy ba giống hệt với nguyên lý hoạt động của loại-thùy đôi; điểm khác biệt duy nhất là trong một vòng quay duy nhất, khí được chia thành ba gói-riêng biệt thay vì hai gói, như trường hợp của thiết kế thùy-đôi. Do đó, hai thiết kế này đều có chung những ưu điểm và nhược điểm. Để giảm hơn nữa mức tiêu thụ điện năng, một số nhà sản xuất lựa chọn sử dụng hai động cơ DC trong cơ cấu truyền động; tuy nhiên, cách tiếp cận này cũng làm giảm mô-men xoắn và giảm khả năng khởi động lại máy bơm. Giống như thiết kế-hai thùy, mỗi giai đoạn của thiết kế ba-thùy yêu cầu một luồng khí nitơ đáng kể để thực hiện các chức năng pha loãng và cô lập.
Loại lai (Rễ + Móng)
Thiết kế Hybrid (Roots + Claw) sử dụng giai đoạn Roots để nâng cao hiệu quả bơm ở mức áp suất thấp hơn, đồng thời sử dụng giai đoạn Claw để tăng hiệu quả ở mức áp suất cao hơn. Các nguyên tắc hoạt động cơ bản và đường dẫn dòng khí của nó giống hệt với các thiết kế kiểu thùy-đã nói ở trên. Tuy nhiên, một số nhà sản xuất chọn thay thế giai đoạn cuối bằng thiết kế "kiểu sao"; cấu hình này cho phép khí được chia thành năm gói riêng biệt trên mỗi vòng quay-giống như cách thiết kế ba{6} thùy chia khí thành ba. Tương tự, trong nhiều ứng dụng quy trình phức tạp, mỗi giai đoạn của thiết kế lai đòi hỏi một dòng khí nitơ đáng kể để đóng vai trò là chất pha loãng và rào cản.
Loại vít nén bên ngoài
Thiết kế kiểu vít nén bên ngoài-sử dụng một cặp vít cách đều nhau. Cấu hình này giảm thiểu lực nén bên trong đồng thời tạo ra đường dẫn dòng khí ngắn nhất và đơn giản nhất có thể. Do đó, thời gian lưu trú của khí trong buồng bơm được giữ ở mức tối thiểu. Mặc dù thiết kế này có mức tiêu thụ điện năng tương đối cao hơn do tỷ lệ nén bên trong giảm nhưng nó thể hiện sự ổn định và độ tin cậy đặc biệt trong nhiều quy trình sản xuất chất bán dẫn phức tạp. Thiết kế một giai đoạn-này đặt ra các yêu cầu tối thiểu và đơn giản về mức tiêu thụ nitơ, do đó đảm bảo khả năng thay thế tuyệt vời trong nhiều quy trình khác nhau. Trong nhiều quy trình sạch, thậm chí có thể loại bỏ hoàn toàn việc sử dụng nitơ.
Bơm trục vít nén bên trong
Ngoài việc sử dụng một cặp vít không{0}}đẳng tham số, nguyên tắc hoạt động cơ bản của thiết kế bơm trục vít nén bên trong rất giống với nguyên tắc hoạt động cơ bản của thiết kế bơm trục vít nén bên ngoài. Việc giảm âm lượng liên tục giữa các ốc vít tạo ra lực nén bên trong. Bằng cách tạo điều kiện thuận lợi cho quá trình nén bên trong, thiết kế này giúp giảm mức tiêu thụ điện năng xuống mức tương đương với mức tiêu thụ của máy bơm nhiều{3}}tầng. Tuy nhiên, trong nhiều quy trình-giống như với máy bơm nhiều{6}}giai đoạn-việc nén bên trong này rất dễ gây ra những thay đổi hóa lý đối với khí bên trong thân máy bơm, có khả năng dẫn đến sự hóa rắn hoặc hóa lỏng.
